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高純供氣系統(tǒng)報價服務(wù)介紹 北京艾明坷
2021-06-18






實驗室集中供氣的優(yōu)點

1、保持氣體純度

2、不間斷氣體供應(yīng):系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換,保證氣體連續(xù)供應(yīng)

3、低壓警示:當氣壓低于警報限時,報警裝置可自動啟動報警

4、氣體壓力穩(wěn)定:系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力

5、率:通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本

6、操作簡便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運安裝的操作,節(jié)約時間和成本費用

7、無氣瓶在實驗室:可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間

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實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路

指氣瓶至儀器終端之間連接管線,一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成,輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調(diào)節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈,使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

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試驗室集中供氣系統(tǒng)的特點

1、特點:試驗室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。

2、經(jīng)濟性:建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗室空間,更換氣瓶時不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因為使用同一氣體的所有使用點來自于同一個氣源。3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。此種供應(yīng)方式終會減少運輸費用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。

3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點處,這樣的話可以更合理的設(shè)計工作場所。

4、安全性:保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。



高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高,對氣體中雜質(zhì)和露1點要求極為嚴格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。漏率(漏氣速率):是指單位時間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量。



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